Industry Insights
行业逻辑与核心痛点
在半导体晶圆制造过程中，温控的微小波动都会直接影响成品率。精创电气针对制程中高频响应、极高精度及复杂流体控制的需求，提供定制化温控方案，解决高功耗下的热失控风险。
极高精度要求
纳秒级误差控制，满足3nm/5nm制程需求。
秒级响应速度
动态负载下极速回归目标温度，减少损耗。
晶圆级精密温控
Wafer Level Thermal Control
Product Spotlight
核心硬件展示
专注半导体体制程的高性能分体式控制系统，模块化设计助力灵活部署。
半导体制程分体式控制器
专为半导体制冷、加热及载冷液流体控制系统设计。采用高速采样与多级PID算法，支持跨模块级联与冗余保护。
分体式架构
主从机架构，极大提升了信号抗干扰能力与布线灵活性。
多重安全链路
具备温度、流量异常报警及紧急停机控制功能
Competitive Advantage
核心竞争优势
凭借数十年的温控技术积淀，我们在精度与算法领域保持行业领先地位。
±0.1°C 高精度控制
搭载24位高精度AD采样芯片，实现工业级稳定测量与毫级响应偏差补偿。
PWM 加热脉宽控制
由于热负荷变化引起系统温度剧烈波动对系统的冲击
多路水泵调速管理
支持多路4-20mA/0-10V或RS485频率输出，动态调整流体压力与流量。
Specification
技术参数表
| 参数名称 | 详细指标 / 参数范围 |
|---|---|
| 工作电压 | AC 220V ±10% / 50-60Hz (可选 110V 或 DC 24V) |
| 温度测量范围 | -100°C ~ +250°C (支持 PT100 / 热电偶输入) |
| 控制精度 | ±0.1°C (稳定状态) |
| 采样频率 | 10Hz ~ 100Hz 可调 |
| 输出信号 | 4路 PWM / 8路 继电器 / 2路 4-20mA 模拟量 |
| 通讯接口 | RS485 (Modbus RTU) / Ethernet (EtherCAT 可选) |
| 防护等级 | IP65 (控制面板) / IP20 (模组) |
* 以上参数可能根据定制化需求有所变动，请以实际出厂报告为准。
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